廢氣通過沸石分子篩或活性炭吸附脫附之后，達到一定條件之后，進去催化燃燒爐進行燃燒反應，下面說下催化燃燒設備的原理：
催化燃燒設備主要由阻火器，熱交換器，催化反應床，風機等部件組成。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度更低，燃燒更完全。
催化燃燒設備使用的是表面具有貴金屬或貴金屬氧化物的催化劑（通常是鉑、鈀等貴金屬化合物），可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。這里需要注意的是催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，只是提高了化學反應的速度，而在反應前后，催化劑本身的性質并不發生變化。
在焚燒爐中加入貴金屬催化劑，將有機廢氣進行催化燃燒，發生氧化反應生產無毒害的水和二氧化碳，從而達到廢氣處理的效果。
催化劑可以降低熱力燃燒反應所需的起燃溫度，節省廢氣治理工程的運行成本。相較于傳統的廢氣凈化技術，催化燃燒廢氣凈化更徹底。煤觸催化燃燒技術在反應的全程無明火，安全性更高。
RCO催化燃燒廢氣處理設備適用范圍廣，可處理多種行業的有機廢氣，裝置結構簡單，廢氣處理效率高（可達到95%以上）。在節能減排方面，催化燃燒技術因無二次污染等多項優點更符合環保的要求，是當下國家環保部門力推的一種廢氣凈化裝置。
有機廢氣經阻火器過濾后，通入主進閥、旁通閥發生同步反向，之后進入熱交換器。廢氣經熱交換器換熱并且升高一定溫度后進入預熱室，在預熱室中加熱，使溫度達到催化起燃溫度（通常為250℃左右）。
廢氣達到起燃溫度后進入催化反應床，在催化劑的作用下，有機廢氣發生氧化反應生成無害的水和二氧化碳，并放出一定的熱量。反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱后，以較低的溫度經引風機排入大氣。
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